Opis obstarávania
Obstaranie zariadení pre mechanickú úpravu dosiek polovodičových
materiálov, ich mechanickú charakterizáciu a tiež charakterizáciu ich
vnútornej kryštalickej štruktúry a štruktúry nanesených vrstiev pomocou
RTG difraktometrie. Predmetom zákazky je dodávka štyroch zariadení,
ktoré spolu vytvárajú jednu sadu vzájomne súvisiacich prístrojov:
1) 1 ks píla na delenie ingotov na dosky ako aj na delenie samotných
dosiek polovodičových materiálov. Pre delenie sa použije drôt o
priemere 0,1 až 0,5 mm osadený diamantovými zrnami so zrnitosťou
max. 64 m, minimálna dĺžka drôtu je 15 m, a pre jeho lepšie využitie drôt
počas pílenia vždy po ubehnutí svojej dĺžky zmení smer pohybu.
Požadovaný rozmer rezanej vzorky je min. 220 mm výška, 200 mm
šírka, a 200 mm hĺbka. Stôl pre uchytenie rezanej vzorky musí byť
vybavený T-drážkami pre montáž pomocných predmetov, a píla
umožňuje samostatnú reguláciu rýchlosti pohybu drôtu minimálne v
rozsahu 0 2 m/s, samostatné konštantné nastavenie ťahu drôtu, a
samostatné konštantné nastavenie sily, ktorou je rezaný predmet tlačený
do rezu. Píla je uspôsobená pre kvapalinové chladenie vzorky počas
rezu;
2) 2 ks meracie prístroje profilometre vybavené CNC riadením pre
mechanickú charakterizáciu dosiek polovodičových materiálov. Požaduje
sa rozsah súvislo snímanej plochy min. 120 x 200 mm, kde prvý
uvedený rozmer (označený ďalej ako os X) sa musí dosiahnuť súvislým
numericky riadeným pohybom meracieho hrotu s prítlačnou silou
menšou ako 1 mN, a druhý uvedený rozmer (označený ďalej ako os Y)
súvislým numericky riadeným pohybom stola s nosnosťou min. 10 kg.
Rozsah merania v smere kolmom na rovinu určenú osami X a Y
(označený ďalej ako os Z) je min. 1 mm, pričom v závislosti na výškovom
profile charakterizovaných dosiek je možné rozsah merania v osi Z
prepínať nasledovne: plus/mínus 25 mikrometrov, plus/mínus 50
mikrometrov, plus/mínus 250 mikrometrov, plus/mínus 500 mikrometrov,
požadované rozlíšenie je min. 1:100000, t. j. pri najmenšom rozsahu 0,5
nm. Mechanizmus pohybu meracieho hrotu obsahuje v sebe vysoko
kvalitnú referenčnú rovinu s parametrom Rz<30 nm na dĺžke min. 120
mm pri rýchlosti 0,1 mm/s, v dôsledku čoho bude profil snímaný v osi X
meraný ako absolútny profil voči uvedenej referenčnej rovine. Os X
pohybu meracieho hrotu je možné nakláňať voči vodorovnej rovine v
rozsahu min. 45°. Merací hrot musí byť v smere osi Z výškovo
polohovateľný min. v rozsahu 500 mm. Pracovná doska, na ktorú sa
upevňujú stôl resp. merané predmety priamo, je vyhotovená z tvrdej
horniny o rozmeroch min. 500 x 700 mm, je vybavená min. troma
Obstarávanie tovarov - 364624-2014 - TED Tenders Electronic Daily Page 2 of 10
http://ted.europa.eu/udl?uri=TED:NOTICE:364624-2014:TEXT:SK:HTML 9. 12. 2014
T-drážkami, a je odpružená od okolitého prostredia pomocou sady
vzduchových pružín. Z nasnímaných údajov prístroj stanoví
charakteristiky povrchu profil, drsnosť, vlnitosť (po odfiltrovaní drsnosti),
a tiež 2D a 3D spracovanie výsledkov vo forme protokolov a
topografickej mapy. V zostave prístroja je dodaný aj etalón s certifikátom
pre kontrolu a kalibráciu minimálne týchto parametrov: rovná plocha s
parametrom Rz<15 nm, Rt, Ra a Rsm;
3) 1 ks RTG difraktometer pre a) charakterizáciu vnútornej kryštalickej
štruktúry dosiek polovodičových materiálov, na nich nanesených vrstiev
a iných tuhých látok, a tiež pre b) stanovenie parametrov skúmaných
materiálov, ktoré závisia od vnútornej kryštalickej štruktúry, a to najmä
stanovenie kvality kryštalickej mriežky vo vnútri materiálu a v
podpovrchovej oblasti, v prípade nanesených vrstiev stanovenie ich
zloženia, hustoty, hrúbky, kvality povrchu medzi vrstvami, nesúladu
štruktúry vrstvy a substrátu, napätia a relaxácie vrstiev, a v prípade iných
tuhých látok stanovenie ich fázového zloženia. Požaduje sa aby všetky
komponenty RTG difraktometra, najmä goniometer, držiak vzorky, zdroj
RTG žiarenia, optika dopadajúceho RTG lúča, optika odrazeného RTG
lúča, detektory, riadiaci a vyhodnocovací software, boli produktami
jedného výrobcu. Vysokonapäťový zdroj pre napájanie zdroja RTG
žiarenia musí mať výkon min. 3 kW, napätie min. 60 kV, a prúd min. 60
mA. Goniometer difraktometra má 2 nezávisle ovládané ramená s
polomerom väčším ako 300 mm, pričom rameno pre uchytenie optiky
dopadajúceho lúča pri montáži viacerých komponentov za sebou musí
byť prestaviteľné na polomer väčší ako 400 mm. Uhly obidvoch ramien
musia byť merané optickým dekodérom priamo na zariadení, a nie
sprostredkovane cez meranie pohybu motora resp. cez prevody.
Požaduje sa minimálne tento rozsah uhlov ramien goniometra: uhol =
-90° až 120°, uhol 2 = -40° až 160°. Meraná vzorka môže mať tvar kruhu
s priemerom minimálne 100 mm, výškou min. 20 mm a váhou min. 0,5
kg. Držiak vzorky umožňuje jej polohovanie v rovine XY v každej osi v
rozsahu min. 100 mm a v smere osi Z min. 12 mm, kde rovina XY je
rovina vzorky, na ktorej sa uskutočňuje meranie, a os Z je kolmá na túto
rovinu. Držiak vzorky ďalej musí umožňovať jej rotáciu minimálne v
rozsahu uhla 360°, a tiež jej náklon min. v rozsahu uhla 92°. Zdroj RTG
žiarenia musí umožňovať generáciu RTG žiarenia s príkonom min. 1 800
W, musí byť vybavený Cu anódou s čiarovým ohniskom o rozmere min.
0,4 x 12 mm, a musí generovať žiarenie v 2 geometrických formách ako
bodový lúč a ako čiarový lúč, ktoré sa dajú prepínať bez použitia
náradia. RTG optika musí umožňovať plnenie hore uvedených úloh
metódami štandardnej difrakcie, reflektivity a tzv. in plane difrakcie pri
využití merania máp recipročného priestoru s vysokým rozlíšením a tzv.
rocking kriviek. Sú požadované 2 detektory RTG žiarenia, a súčasťou
zostavy prístroja sú aj dve referenčné vzorky pre kontrolu nastavenia
optických prvkov.
